在精細鏡面火花機閉環與半閉環伺服系統中，是用反應信號和指令信號的比擬結果來停止速度和位置控制的。因而，為了進步精細鏡面火花機的加工精度，必需進步檢測元件和檢測系統的精度。由于設備品種、工作條件和檢測請求不同，因此運用的檢測元件和檢測方式也有很多種。下面我們簡單的說說精細鏡面火花機的幾種檢測方式以及有哪些檢測元件。

       檢查辦法︰

　　1、數字式和模仿式︰數字式是將被丈量停止單位量化後以數字的方式表示，其特性是被丈量經量化後轉換成了脈沖個數，便于數據處置。檢測精度取決于丈量單位，檢測安裝比擬簡單，脈沖信號抗干擾才能強。模仿式是將被丈量用連續的變量來表示，其特性是被丈量用連續的變量值來表示，可直接丈量被丈量，無須量化，在小量程內能夠完成高精度丈量。

　　2、增量式和式︰增量式檢測只測位移的增量，每挪動一個丈量單位就發一個丈量信號，其特性是構造簡單。任何一個對中點都能夠作為丈量的起點，但是，在運動過程中，一旦發作不測中綴，則不能再找到中綴前的位置，只能重新開端。式檢測則無此缺陷，任何位置都由一固定值與之對應，但構造復雜。

　　在精細鏡面火花機上常用的滑動導軌有液體靜壓導軌、氣體靜壓導軌和貼塑導軌。

　　1、液體靜壓導軌︰在兩導軌工作面間通入具有一定壓力的光滑油，構成靜壓油膜，使導軌工作面間處于純液態摩擦狀態，摩擦系數極低，多用于進給運動導軌。

　　2、貼塑導軌︰在動導軌的摩擦外表上貼上一層由塑料等其它化學資料組成的塑料薄膜軟帶，其優點是導軌面的摩擦系數低，且動靜摩擦系數接近，不易產生匍匐現象；塑料的阻尼性能好，具有吸收振動才能，可減小振動和噪聲；耐磨性、化學穩定性、可加工性能好；工藝簡單、本錢低。

       3、氣體靜壓導軌︰在兩導軌工作面間通入具有恆定壓力的氣體，使兩導軌面構成平均別離，以得到高精度的運動。這種導軌摩擦系數小，不易惹起發熱變形，但會隨空氣壓力動搖而使空氣膜發作變化，且承載才能小，故常用于負荷不大的場所。